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当前位置:杂志选读——《日经FPD》简体中文版杂志 2008版“趋势·战略篇
面向滤色膜制造的直写技术和涂敷技术

[ 新井 泰雄 | 日本大日本网屏制造公司 FPD机器公司 解决方案营业部课长 ]
 

导读:

为适应液晶面板的日益大尺寸化及降价趋势,滤色膜的生产需要进一步降低成本。大日本网屏制造公司开发出了用于第8代线的采用直写技术的曝光设备DF-2200G。该设备采用了可绘制多个图样的可变光栅投影以及能够进行大尺寸曝光的脉冲激光曝光,能有效削减工序数、降低成本、提高生产节拍和成品率。DF-2200G体积还很小,高度低,便于维护。

此外,该公司还开发了第8代线用线性涂敷机LF-2200G。它采用狭缝涂敷,有良好的稳定性,大幅削减了光刻胶的用量,对喷嘴的清洗方便彻底,且可防止喷嘴内光刻胶凝固。

本文简要介绍这项独家技术。

附图:可变光栅投影

文章标题:

1.滤色膜生产需要降低成本

2.电视机的大尺寸化与玻璃基板尺寸的变化

3.可以绘制多个图样的可变光栅投影

4.可进行大尺寸曝光的脉冲激光曝光

5.DF-2200G的概况

6.直写方式的优势

7.削减光刻胶涂敷量的线性涂敷机

8.LF-2200G的4个特点

图表标题:

图1 滤色膜生产成本详细清单

图2 新的技术革新

图3 曝光方式的比较

图4 可变光栅投影

图5 DF-2200G设备的概览图

图6 各滤色膜生产方式的优点与课题

图7 5年总成本比较

图8 涂层厚度

图9 狭缝喷嘴的结构

图10 喷嘴清洗

图11 震动抑制

(完整内容请参见《日经FPD》简体中文版杂志——2008“趋势·战略篇
 

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