导读：随着有机EL显示技术的发展以及有机EL装置的应用领域不断扩大，对其制造设备以及生产技术也提出了更高的要求，这为有机EL设备厂商提出了新的研发课题。本文从市场动向与量产的制造设备发展方向出发，说明和有机EL装置的发展趋势相对应，制造设备以及生产技术，也逐步向非晶硅TFT驱动技术、直列式(in-line)设备等制造应对大尺寸装置的各种技术和设备的方向发展；同时，对制造设备的连续工作能力、材料利用率、膜厚的均匀性等，也提出了进一步的要求。基于此，本文介绍了日本TOKKI公司用于大尺寸基板的有机材料蒸发源、金属材料的蒸发源、无掩膜激光图样成型等三项生产技术，以及膜封装设备等。

附图：制造设备的构成

文章目录：

1. 制造设备的发展方向

2. 用于大尺寸基板的Parallel Shot蒸发源

3. 用于金属材料的蒸发源

4. 无掩膜图样成型法的开发

图表目录：

图1　制造设备的发展方向

图2　制造设备的构成

图3　制造设备的构成

图4　气相沉积特性

图5　分布特性

图6　材料利用效率

图7　蒸发源的种类

图8　EB蒸发源

图9　用于Al的THP蒸发源

图10　激光图样成型方式

图11　实验结果

图12　实验结果